技術指標
4.1 S48 300/HMT MFC技術指標
表1 S48 300/HMT數字流量控制器技術指標
編號 | 項目 | S48 300/HMT |
1 | 流量規格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 |
3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 |
4 | 安裝角度 | 任意 |
5 | 流量控制范圍 | 2%-100%F.S. |
6 | 流量測量范圍 | 0-100%F.S. |
7 | 響應時間 | ≤ 1 sec |
8 | 工作環境溫度 | 5-50℃ |
9 | 精度保證溫度 | 15-35℃ |
10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.) |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. |
12 | 重復性 | ±0.2%F.S. |
13 | 工作壓差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐壓 | 3MPa(G) |
15 | 泄漏率 | <1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接觸氣體材料 | 316L,Viton® 氟橡膠,PTFE |
17 | 管路接頭 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供電電源 | ±15V(±5%),+15V,150mA;-15V,200mA |
19 | 設定信號 | 數字:RS485/RS232 模擬:0 - +5V,輸入阻抗>10kΩ |
20 | 流量輸出信號 | 數字:RS485/RS232 模擬:0 - +5V,負載能力≤3mA |
21 | 通訊接口 | 數字RS232/RS485,波特率4800/9600/19200bps, Modbus RTU 協議從機,設備號可選范圍0-15 |
22 | 重量(kg) | 0.9 |
S48 300/HMT質量流量控制器的特點
☆ S48 300/HMT型質量流量控制器是在引進HORIBA STEC技術基礎上,結合國內需要而研制的一種數字式質量流量控制器產品,采用當今先進的32位ARM系列處理器做數字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。
☆ RS232/485串口, Modbus(RTU)開放協議。協議簡單可靠,兼容性強,易于組網。配合上位機,可進行各種復雜的計量、控制操作及組態。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小,工作壓力范圍寬。
☆主體采用不銹鋼(316L)結構,氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。
☆可任意角度安裝。
☆兼容數字和模擬控制及顯示,使用方便。易于與電氣或自動控制系統配合。
配合MT-50或51系列流量顯示儀,可對氣流的瞬時流量進行精確測量和計量。
RF-2型流量控制器用于控制氣體流量。它配合高壓氣瓶或配氣裝置一起使用,控制進入被校儀器所需要的流量。既適用于擴散型、也適合抽吸式可燃氣體檢測報警器、有毒有害氣體分析儀、測試儀和測報儀的檢定、校準和測試。
一、概述 |
hfs系列水流開關采用靶式傳感器,可用于水,冷卻系統或其它流體回路。控制器的設定值可調。 |
二、技術參數 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
注:1-序號6~14為參考規格 2-設定值為下切換值 |
三、電氣性能 | |||
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四、壓力損失特性 |
五、外形及安裝尺寸 |
六、安裝 | |||||||
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序號 | 項目 | 內容 | |
DSN—① | DSN—② | ||
1 | 流量范圍 | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM; 0~1,2,3,5,10 ,20,30SLM; | |
2 | 度(%FS) | ±2%FS | ±1%FS |
3 | 線性(%FS) | ±(0.5~2)%F.S | ±(0.5~1)%FS |
4 | 重復精度(%FS) | ±0.2%FS | |
5 | 響應時間(sec) | 電特性:<10;氣特性:<1~4 | |
6 | 工作壓差范圍(MPa) | 0.05~0.3 | |
7 | 耐壓(MPa) | 3,10 | |
8 | 工作環境溫度(℃) | 5~45 | |
9 | 輸入輸出信號電壓 | 0~+5.00V | |
10 | 電源 | +15V 500mA,-15V 500mA(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | |
11 | 外形尺寸(mm) | 130*28*121 | |
12 | 重量約(kg) | 1.0 |
1、50毫內完成穩定的控制響應
準確、穩定的流量取決于控制響應速度,艾里卡特®質量流量控制器50毫內即可到達新的設定值。快速、可重復、穩定!
2、操作便捷
? 50-100毫控制響應
? 允許用戶自行調節PID以獲得良好的速度和穩定性
? 定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩定性
? 同一臺設備控制質量流量、體積流量或絕對壓力
? 瞬間啟動、無需預熱:1內即可開始流量控制
三、ALICAT氣體質量流量控制器產品系列
MC 標準系列
全球控制響應快、穩定的流量控制器。
MCR 大流量系列
準確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。
MCW / MCRW 低壓損系列
限度減小壓損對系統的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導體行業用系列
可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統兼容,封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ,門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業用系列
MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列
雙向質量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。 點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列
四、ALICAT氣體質量流量控制器性能參數
指標 | 質量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿量程) |
重復性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時間 | 100ms |
標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度范圍 | -10~50 |
零點漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
濕度范圍 | 0-100% |
測量流量范圍 | 128%(過流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號(數字) | 質量流量、體積流量、絕對壓力和溫度 |
數字信號可選 | RS485,Modbus,Profibus |
輸出信號(模擬) | 質量流量、體積流量、絕對壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針(根據不同類型流量計而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A) |