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EM22EM22 自動橢圓偏振測厚儀

EM22自動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測量原理，針對納米薄膜厚度測量領域推出的一款自動測量型教學儀器。

EM22儀器適用于納米薄膜的厚度測量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時測量。

EM22儀器還可用于同時測量塊狀材料（如，金屬、半導體、介質）的折射率n和消光系數k。

特點

經典消光法橢偏測量原理

儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。

方便安全的樣品水平放置方式

采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。

緊湊的一體化結構

集成一體化設計，簡潔的儀器外形通過USB接口與計算機相連，方便使用。

高準確性的激光光源

采用激光作為探測光波，測量波長準確度高。

豐富實用的樣品測量功能

可測量納米薄膜的膜厚和折射率；塊狀材料的復折射率、樣品反射率、樣品透過率。

便捷的自動化操作

儀器軟件可自動完成樣品測量，并可進行方便的測量數據分析、儀器校準等操作。

安全的用戶使用權限管理

軟件中設置了用戶使用權限（包括：管理員、操作者等模式），便于儀器管理和使用。

可擴展的儀器功能

利用本儀器，可通過適當擴展，完成多項偏振測量實驗，如馬呂斯定律實驗、旋光測量實、旋光等。

應用

EM22適合于教學中單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數k。

EM22可測量的樣品涉及微電子、半導體、集成電路、顯示技術、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁質存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領域。

技術指標

項目	技術指標
儀器型號	EM22
測量方式	自動測量
樣品放置方式	水平放置
光源	He-Ne激光器，波長632.8nm
膜厚測量重復性^*	0.5nm （對于Si基底上100nm的SiO₂膜層）
膜厚范圍	透明薄膜：1-4000nm 吸收薄膜則與材料性質相關
折射率范圍	1.3 – 10
探測光束直徑	Φ2-3mm
入射角度	30°-90°，精度0.05°
偏振器方位角讀數范圍		偏振器步進角	樣品方位調整	Z軸高度調節：16mm 二維俯仰調節：±4°
允許樣品尺寸	樣品直徑可達Φ160mm
配套軟件	* 用戶權限設置 * 多種測量模式選擇 * 多個測量項目選擇 * 方便的數據分析、計算、輸入輸出
最大外形尺寸	約400400250mm
儀器重量（凈重）	約20Kg
選配件	* 半導體激光器

注：（1）測量重復性：是指對標準樣品上同一點、同一條件下連續測量30次所計算的標準差。

性能保證

ISO9001國際質量體系下的儀器質量保證
專業的橢偏測量原理課程
專業的儀器使用培訓

該公司產品分類：在線橢偏儀激光橢偏儀光譜橢偏儀

o 儀器測量精度：在10nm處誤差為±0.5nm； o 光學中心高度：75㎜； o 允許樣品尺寸直徑：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜； o 外形尺寸：730 x230X 290； o 主機重量：30kg；測量范圍：1nm～4000nm； o 測量最小值：≤1nm； o 鍍膜折射率范圍：1.3 ~ 2.49 o 入射角：40°～90°　　誤差≤0.05°； o 偏振器方位角范圍：0°～180°；儀器測量精度：在10nm處誤差為±0.5nm；光學中心高度：75㎜；允許樣品尺寸直徑：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；外形尺寸：730 x230X 290；主機重量：30kg；偏振器步進角：0.0375°/步；本儀器分為光源、接收器、主機、電子及通訊四部分，外觀參看右圖。1、　光源：采用波長為632.8nm的氦氖激光光源①其特點是：光強大、光譜純、波長穩定性好。2、　接收器：采用光電倍增管⑤，把光訊號變為電訊號，經放大后輸出至微機，由微機選擇出消光位置的角度值。3、　主機部分：除以上兩項外，還有起偏組件②，樣品臺③，檢偏組件④。4、電子及通訊部分⑥：采集光強及對應的角度值并傳輸到計算機，再接收由計算機發出的指令逐步靠近消光點。

BXS10-SGC-I橢圓偏振測厚儀橢圓偏振厚度測定儀橢圓偏振厚度儀出租

橢圓偏振測厚儀橢圓偏振厚度分析儀橢圓偏振厚度儀

型號:BXS10-SGC-I

※ 測量范圍 1nm-300nm

※ 測量小值 ≤1nm

※ 入射角 30°- 90° 誤差≤0.1°

※ 偏振器方位角讀數范圍 0°- 180°

※ 度盤刻度每格2度

※ 游標小讀數 0.05°

※ 光學中心高度 152

※ 工作臺直徑 ?70

※ 外形尺寸 730*230*290

※ 主機重量 20kg

該公司產品分類：石油化工分析儀器環保分析儀器煤質分析儀器水源檢測探測儀自動分析儀器水質檢測儀器光譜系列原子吸收系列色譜系列生化系列熒光系列食品檢測專用儀激光粒度儀水份儀系列紫外線系列在線檢測產品硬度計系列電火花檢測儀工業分析儀器多元素分析儀

BXS10-SGC-I橢圓偏振測厚儀，橢圓偏振厚度分析儀，橢圓偏振厚度儀