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半導體IC晶圓硅片金相工具測量顯微鏡

金相工具顯微鏡QI-U系列本機特性:◆ 該系統設備一款通用型落射照明器,它可以滿足各種觀察需求,如明場,暗場,簡易偏光,DIC以及落射熒光。根據工作或觀察目的,可以選購高亮度12V-50W鹵素燈光源何白色LED光源◆ 這是一個基于一個不僅能測量長度,還能通過目鏡的觀測來檢查表面的處理狀態或其他要素的顯微鏡的高附加值系統◆ 帶有閃爍抑制的新光學系統可在大視野范圍內產生清晰的正像(2X:與常規產品相比,能減少了80%的閃爍)◆ 在一臺顯微鏡中集成了金相顯微鏡和測量顯微鏡功能,能提供高分辨率觀察和高精度測量◆ 在立柱兩側標配Z軸粗/微調手柄,可進行精準調焦何觀察/測量◆ 可選配置視像裝置等多種選件,使標準測量顯微鏡更具魅力應用:半導體封裝,焊接貼片,環路高度,FPD面板(LCM),MEMS,晶片級CSP,硬盤滑行磁頭儀器型號 MM-U400 MM-U800X/Y/Z測量行程 200*100*150 300*200*200Z軸移動 手動/電動 手動/電動Z軸線性光學尺 內置 內置光學頭 日本尼康、奧林巴斯金相光學頭選配分 辯 率 0.001/0.0001 0.001/0.0001目鏡 10X物鏡 10X、20X、40X、100X 選配測量精度 (2+L/200)um,L=測量長度(單位:mm)重 復 性 2um 2um載重量 15Kg 15Kg光源 LED同軸光照明器外 形 尺 寸 1000*600*1400mm 1200*720*1600mm機 身 重 量 100kg 120kg工作臺底座 工作臺鑄鐵采用天然失效處理,配合瑞士進口SCHNEEBERGER導軌

該公司產品分類: 意大利火花直讀光譜儀 光電直讀光譜儀 EV VMS 二次元 三坐標 投影儀 二次元測量儀 卡尺 高度計 標準件 硬度計 體視顯微鏡 金相顯微鏡 工具顯微鏡 影像儀

VMM200工具測量顯微鏡

 

 

 

 

德國烏爾公司Walter Uhl techn. Mikroskopie GmbH & Co.KG是生產測量顯微鏡的專業廠家,位于德國黑森州光學城Wetzlar – Asslar。烏爾公司歷史,1943年開始生產顯微鏡和精密機械部件,擁有世界范圍各個領域的廣泛用戶.烏爾公司有自己的產品設計,軟件設計,精密測量臺加工和客戶服務整體團隊.主要產品為MS攝像測量顯微鏡系列,VMM測量顯微鏡系列,顯微鏡另部件供應和特殊測量系統。烏爾公司2000年收購了萊卡Leica Microsysteme測量顯微鏡,將萊卡的測量顯微鏡生產轉移到了Asslar,改進后成為的UHL VMM測量顯微鏡系列。

 

模塊式設計 滿足每一個用戶的需求

 

l     業:機器設備制造,汽車工業,航空航天,電子半導體,精密機械,光學,醫學

l           究:   科研工程和高等院校

l          實驗室:   檢驗和鑒定實驗室,刑事技術實驗室

l           用:   質量控制,零件加工,產品研發,工具制造,成型制造,材料技術

l           驗:   張力和非張力產品,彎曲和沖壓零件,噴鑄零件,電機和驅動零件,螺紋,刀具,電子器件,教學,光柵尺,醫學組織

l           能:   長度和角度測量,輪廓測量,膜層厚度測量,材料分析,材料斷裂分析

l           料:   金屬,塑料,陶瓷,玻璃,橡膠

 

基本機械結構:

 

l          沉穩結實的鑄鐵機身

l          極高的測量穩定性,對溫度變化最小的敏感

l          極穩定的測量臺,滾柱軸承導軌

l          的工作臺承受

l          測量臺測量范圍(X/Y):150X100250X150 mm

l         測量臺快速定位,解除鎖定,可手動任意移動和便捷精調測量臺,可選電機驅動測量臺

 

測量系統:

 

l          光電測量系統,增量鋼質光柵尺,分辨率 0.0001 mm

l          可選擇Z-軸數字測量系統,測量范圍 150 mm

l          極小的誤差高精度測量

l         PTB的標定標準,按照VDI/VDE 2617 驗證的定位精度

 

光學系統:

 

l          遠焦平場TELEPLAN測量物鏡用于長度和形狀測量

l          顯微熒光物鏡PLAN FLUOR 用于表面分析,如金相分析

l          遠心光路的物鏡意味著,即使沒有聚焦在被測零件上,所成像的大小也不改變- 這是高精密測量絕對必要的前提。

l          物鏡具有的光學質量,的校正,平場無畸變的成像所有物鏡由萊卡LEICA設計

l          大的工作距離適合測量高的零件

l          物鏡更換便捷,物鏡轉盤接口

l          攝像頭接口,用于圖象處理

l          雙目觀察

l          明場和暗場圖象觀察,可選偏振光源,相差干涉條紋對比(DIC

 

源:

l          外部鹵素冷光源 30 – 250W

l          光纖導線

l          照明方式:透射,反射,傾斜照明和環形照明

l         金相分析:明場,暗場,干涉條紋對比和偏振

·OMS測量軟件

         OMS 測量軟件靈活易學, 2維測量, 與手動或電動測量顯微鏡連接使用.

    適合實驗室或生產環境使用, 測量原始樣本,中小批量生產.

 

 最強的軟件功能:      不需要手算的測量

         350個點測量圓的直徑

           直角圖形極坐標系

           可編程控制測量過程( 最多250個測量步驟)

           任意選擇坐標零點

           樹結構目錄: 連接幾何圖形的不同元素

           直接用鼠標在屏幕上確定測量點

           在測量報告中實時顯示測量結果

           操作方便易學,自動尋找確定邊沿,可編程控制測量過程

            可設置相匹配的直角,,網格屏幕圖案, 進行快速觀察控制

該公司產品分類: 光學儀器組件 橢偏儀 反應釜、反應器 臺階儀 立體顯微鏡、體視顯微鏡 纖維類測試儀器 折光儀(折射儀) 光學計量儀器 硬度計 輪廓儀 抗折試驗機 工具顯微鏡、測量顯微鏡 激光共聚焦顯微鏡

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