�r��؛����h, �DƬ�H������, һ���Ԍ��H�ɽ���ͬ���
���� KRI �����x��Դ eH ϵ�оo���OӋ, ������������������x��Դ, �ṩԭ�ӵȵļ��ӹ�����, �����x��Դ eH �����Լ{���ȁ�̎����Ĥ������, ��N��̖�M����м����I, �댧�w����. �����x��Դ���������Ĥ���e����, �������p���x���Z���p������, �����OӋ������������w���e�^. ���w�ײ���, �S�o. �����x��Դ eH �ṩһ�������ķ��������x��Դ, ����к���, �Դ������, ���������� MFC �ȵȿ���ֱ�������ڸ������O����, �����Ĥ�C, load lock, �R��ϵ�y, ���@�Ĥ�C��.���� KRI �����x��Դ eH ���ԟo�Ÿ�����������lɢ���� >45�ɿ��ٸ��Q�ģ�K���x Cathode / Neutralize �к������� KRI �����x��Դ eH ��Ҫ�����o���Ĥ IBAD�R�&��� PC������ԡ����� SM���e (DD)�x���g�� LIBE��W�ĤBiased target ion beam sputter deposition (BTIBSD)Ion Beam Modification of Material Properties (IBM)
����1. �x���o���Ĥ����Ә����2. ����ʽ�ſ؞R�估����O���A��ϴ3. ����̎��4. ����Ӳ�����Ĥ5. �ſ؞R���o���Ĥ7. ƫ���x�����ſ؞R���Ĥ
�����x��Դ eH ϵ��������̖:
��̖ | eH400 | eH1000 | eH2000 | eH3000 | eH Linear |
��� | F or HC | F or HC | F or HC | F or HC | F |
�늉� | 50-300 V | 50-300 V | 50-300 V | 50-250 V | 50-300 V |
�x������ | 5A | 10A | 10A | 20A | �������H���� |
ɢ��Ƕ� | >45 | >45 | >45 | >45 | >45 |
���w���� | 2-25 sccm | 2-50 sccm | 2-75 sccm | 5-100 sccm | �������H���� |
���w�߶� | 3.0“ | 4.0“ | 4.0“ | 6.0“ | �������H���� |
ֱ�� | 3.7“ | 5.7“ | 5.7“ | 9.7“ | �������H���� |
ˮ�� | ���x | ���x | �� | ���x | �������H���� |
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current1978 �� Dr. Kaufman ��ʿ���������� Kaufman & Robinson, Inc ��˾, �аl���a�������x��Դ, �����x��Դ�����l�x��Դ. �����������x��Դ�v�� 40 ��������lչ��ȡ�ö����. �x��Դ�V�������x����ϴ PC, �x���g�� IBE, �o���Ĥ IBAD, �x�ӞR���Ĥ IBSD ��, �Ϻ����|�������������x��Դ�Ї�������.������Ҫ�Mһ�����˽� KRI �����x��Դ, Ո���������j��ʽ�Ϻ����|: �~С�� �_�����|: ��С��T: +86-21--3511 ext 109 T: +886-3--9508 ext 161F: +86-21-- F: +886-3--0049M: +86 -883- M: +886---958�Ϻ����|�������, �����ؾ���
�Ϻ�������һ�Ҽ��g������������I,���ИI�lչ�����Г��Ľ�ɫ��һ�N��ͨ�a����������(���к��Ј�)��ý�飬�҂����ИI�˲��ṩ�˰��������ڃȵĸ�����ڣ�������ṩ��������Ӳ��֧�֣��ش��M���к��Ј�����Y�ϣ�����˿��гɹ����D��Ч�ʣ�ʹ�ÿ��и�������Ŀǰ���Ҍ��������ИI�İlչ�o���˘O�����ҕ������������ڿ��е�Ͷ�룬�ИI��ȱ���ļ��g�����wϵ������֧�Ρ�Ԕ����ϢՈ���www.huyusw.com�Wվ��ԃ��Ҳ�Ɂ���ھ���ԃ��
�aƷ���Q��2-��������������[��ԭ���Z���|�V�Ͷ����x���|�V�x�Ļ��|]
�aƷ��̖��K7373201
CAS̖��37682-29-4
Ҏ��TCI
���b��5ml
�Ϻ���������ԇ���aƷ��
C109740250 2-��-5-������� Acros 25gTC092301 2-��-5-���������ױ� TCI 25gxw010085 2-��-5-����� 98��(�քP) 1gTA195901 2-��-6- TCI 25gL1124902 57264-46-7 2-��-6-���S��, 97% Lancaster 5gxw010086 2-��-6-��������� 98��(�քP) 1gLB2402903 2-��-P-�����������} Alfa-B24029 250gTC171901 2-�ȱ������� TCI 5g80034828 95-57-8 2-�ȱ��� CP 500mlLA1190001 2-�ȱ�����, 98�� Alfa-A11900 250gAC2479501 2-�ȱ����� Aldrich 98�� 100gL0695201 2-�ȱ����ѣ�98�� Lancaster 50g30038782 89-98-5 2-�ȱ���ȩ �M�� 100ml
K7373201 37682-29-4 2-��������������[��ԭ���Z���|�V�Ͷ����x���|�V�x�Ļ��|] TCI 5ml