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KT-實驗室智能半導體制造行業中觸摸屏氣體流量控制系統

產品用途

氣體配比器主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環境. 控制方式采用集成化模塊控制功能延伸性強根據客戶要求隨意添加

該氣體配比器可以外接3或多種氣體,采用質子型流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

1.半導體制造行業中氣體流量控制

2.各種真空鍍膜設備

3.特種材料表面處理

4.氣體燃燒控制

5.混和配氣系統

6.泄漏探測系統

7.環境檢測與分析設備

8.分析儀器的氣體流量計量與控制

9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所

技術資料

產品型號	KT-C3Z
產品類型	高精度型/快速響應型/智能控制觸摸屏控制
可選量程	20sccm,30sccm,50sccm, 200sccm,500sccm,1slm ,5slm,10slm
產品精度	高精度型±1％F.S 普通型±1％F.S
重復精度	高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S
線性	高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S.
響應時間	高精度型≤2sec 普通型≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
供電電源	~85-265VAC 50/60Hz
功耗	40W
進氣口壓	≤0.6MPa
連接管道	φ4-6mm316不銹鋼管道
截止閥類型	電磁閥
單向閥開啟壓力	0.02Mpa
壓力顯示量程	0-0.6Mpa
控制方式	7寸觸摸屏智能調節
時間設定	0-99999
清洗功能	一鍵清洗
數據導出	無
程序控制	5段可編程序(時間-流量隨意設定值)
壓力顯示	有（出氣壓力檢測）
氣體緩沖罐	有
流量累計	有（累計當前運行總流量）
可選進出氣口接頭形式	3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 雙卡套接頭
抗電磁干擾	無
外形尺寸	460X210X480
重量	18KG

產品用途

氣體配比器主要用于氣體流量測試,并按比例混合。混合后的氣體通過真空測試腔體從而傳感器根據不同比例的氣氛環境傳出不同的模擬量信號。控制方式采用集成化模塊控制功能延伸性強根據客戶要求隨意添加

聯系電話：手機/微信：152 8682 QQ:760625767聯系人：李工

該公司產品分類：傳感器實驗室搭建材料樣品處理實驗室氣體配比器材料樣品檢測材料樣品封裝真空探針臺分子泵質量流量配比器等離子清洗機石英管封口機真空腔體氣體配比器

尤尼(UNION)超聲波氣體流量計

流速測量范圍：0-60m/s 精度：2%特點： ·非接觸在線測量，達到無損檢測。·無阻力無壓力損失、無插入部件、無可動部件，　不影響介質流動參數狀態。·安裝位置任意。·測量范圍廣。·可以不斷流拆裝、繼續、在線檢修方便。·可測正反流量，并同時顯示瞬時流量、累積流量　、工況流量、壓力參數、日累積量、介質溫度。·適合各種工作環境，一次安裝，使用，維修　極少，壽命可達十年。

LZB-25FLZB-25F玻璃管浮子氣體流量計

防腐型流量計與介質接觸的零部件材質，玻管為高硼硅質玻璃，基座、浮子和導桿由聚四氟乙稀襯包，密封圈采用F46 隔膜圈。公稱通經≤10mm 的防腐型流量計，基座材質為不銹鋼，密封件材質為氟橡膠。

LZB-F型玻璃轉子流量計技術參數

型號		LZB-15F	LZB-25F	LZB-40F	LZB-50F	LZB-80F	LZB-100F
公稱通徑（mm）		Φ15	Φ25	Φ40	Φ50	Φ80	Φ100
測量范圍	液體 I/h	16-160	40-400	160-1600	400-4000	1-10 m³/h	5-25 m³/h
		25-250	60-600	250-2500	600-6000	1.6-16 m³/h	8-40 m³/h
		40-400	100-1000
	氣體 Nm³/h	0.25-2.5	1-10	4-40	10-100	50-250	120-600
		0.25-2.5	1-10	4-40	10-100	50-250	120-600
		0.4-4	1.6-16	6-60	16-160	80-400	200-1000
		0.6-6	2.5-25
精度（+%）		4	2.5	2.5	2.5	2.5	2.
工作壓力（Mpa）		≤0.6	≤0.6	≤0.6	≤0.6	≤0.4	≤0.4

LZB-15F、25F、40F、50F、80F、100F系列外形及安裝尺寸（與常規型和全不銹鋼型相同）

型號	尺寸（mm）
型號	A	B	C	D	n-E
LZB-15F	￠95	￠65	470±2.5	￠15	4-￠14
LZB-25F	￠115	￠85	470±2.5	￠25	4-￠14
LZB-40F	￠145	￠110	570±3	￠40	4-￠18
LZB-50F	￠160	￠125	570±3	￠50	4-￠18
LZB-80F	￠185	￠150	660±3.5	￠80	4-￠18
LZB-100F	￠205	￠170	660±3.5	￠100	4-￠18

LC氣體流量計;液體流量計;電子流量計

計量油品和化工液體的流量計有：我公司生產橢圓齒輪流量計、腰輪流量計、雙轉流量計、微小流量計、油罐車卸油計量裝置，計量水介質的流量計有：智能電磁流量計、智能磁電流量計，歡迎垂詢選購。

彎管流量計、彎管傳感器、智能顯示儀表、蒸汽流量計、氣體流量計、液體流量計

彎管流量計的性能特點： 1、結構簡單，無節流件或插入件，無附加壓力損失，節約能源。 2、度高，精度1.0、1.5級；重現性好，重現精度0.2% 量程范圍寬。 3、對測量介質的適應性好，滿足高溫、高壓、腐蝕等條件氣，液流體的測量。 4、直管段要求低，前5D后2D；直接焊接安裝，不會產生泄露問題。 5、穩定性好，耐磨損，免標定，維護簡便，具有長周期高精度運行特點。 6、適應復雜環境，對高溫、粉塵、潮濕、振動、電磁場等不利因素不敏感。 7、性能價格比，使用壽命長。

SFC4000氣體流量控制器[瑞士盛世瑞恩中國地區總代理]

SFC4000技術規格：－高精度：設定點的0.8%(10%～100%滿量程) －超快響應：<100ms －量程范圍：0～0.05/0.5/2/5/20 ln/min－數字化標定&溫度補償－標準接口(0～5V) －標準供電電壓：24V －標準的機械接口：G1/4”－提供NIST-traceable標定證書

應用領域：－分析儀器－干刻（RIE/DRIE）－生物技術－氣相色譜分析－激光焊機－過程自動化－真空鍍膜－燃料電池

VA300德國CS氣體流量變送器

德國CS氣體流量變送器VA300基本參數：測量參數：M/S，M3/H度根據DIN1945，ISO1217可由電腦軟件選擇或調整：多種標準設定可供選擇測量原理：量熱法傳感器：2×PT100測量介質：空氣、氣體特殊流量單位：M/S協商供應精度：±4%測量值 ±3%測量值（需5點ISO精度校正）工作溫度：-30~140℃（探頭）-30~80℃（塑料外殼）工作氣壓：達50bar，協商供應更高操作氣壓型號模擬輸出：M3/H（4~20mA）脈沖輸出：1脈沖/M3（24VDC高電位，2ms）數字輸出：SDI（標準）、RS485（可選）電源電壓：24V穩壓15%模擬輸出負載阻抗：≤500ohm外殼材質：不銹鋼1.4301、總長220mm、直徑9mm連接螺紋：G1/2

二、原理結構

該流量計鼓輪用紫銅沖壓成型，鼓輪內分成四個相等的計量室，用水密封，運轉穩定，計量精度高。

三技術參數

產品型號		BSD0.5	BSD2
公稱流量	m³/h	0.5	2
最大流量	m³/h	0.75	3
最小流量	m³/h	0.005	0.002
工作壓力范圍	Pa	500-300
壓力損失	Pa	≤80	≤90
基本誤差調節	%	Qmin≤Q＜0.1Qmax時±2	Qmin≤Q＜0.1Qmax時±2.5
基本誤差調節	%	0.1Qmax＜Q≤Qmax時±1	0.1Qmax＜Q≤Qmax時±1.5
使用溫度	℃	5-35
鼓輪容積	//Rev	5	20
最小刻度值	/	0.02	0.1
最大累計位數	m²	99.999
進氣管內徑	mm	10	19
出氣管內徑	mm	7	18
重量	kg	5.8	9
外型尺寸（長X寬X高）	mm	270x300x340	400x350x500

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KT-實驗室智能半導體制造行業中觸摸屏氣體流量控制系統

尤尼(UNION)超聲波氣體流量計

LZB-25FLZB-25F玻璃管浮子氣體流量計

LC氣體流量計;液體流量計;電子流量計

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SFC4000氣體流量控制器[瑞士盛世瑞恩中國地區總代理]

VA300德國CS氣體流量變送器

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