nre-4000��һ���ʽrie�����x�ӿ��gϵ�y����������ԡ�^���w�ֲ��b���Լ�ˮ��rf��Ʒ.���в��P䓹����Լ�13"�����wʽ�A�����Xǻ,���ھ��AƬ�b�d.ǻ�w�Ѓɂ��˿�:һ������2"��ҕ��,��һ�����������\��.ԓϵ�y����֧�����12���ľ��AƬ��ǻ�w�鳬���OӋ�����Ҹ���������ձÿ����_��10-6 torr ���С�ĘO����ա�ԓϵ�yϵ�y������20mtorr��8torr֮�g������¹�������ձýM����һ�������y,һ��250l/s�Ĝu݆���ӱ�,�V�W�^�V��,�Լ�һ��10cfm�ęCе��(��formblin����).rf���l����ͨ�^600w,13.56mhz���Դ���Ԅ��{�C���ṩ��ϵ�y�����m�O��ֱ����ƫ��,ԓ��ƫ�����Ը��_-500v.�@���ڸ����ԵĿ��g���P��Ҫ��
���r�g:2025-01-06